ウェーハ外周成形やノッチ成形を面取りするための裝置です。 高精度デジタル制御方式で開(kāi)発された裝置で、ウェーハを正確かつ効率的に処理することができ、各裝置には粗研削と精密研削の2つの研削部があります。 同時(shí)に、2つのピースが挽かれます。 光アームを使ってウェハを取り、光センサでウェハ位置のキャリブレーションを行い、処理後はスピンドライにより乾燥した狀態(tài)でスタック內(nèi)にリサイクルされます。 フィードバックの厚さや面取りなどの処理データの機(jī)能を調(diào)整して、上下の面取りを一致させることができます。 ウェハに周縁加工、ＯＦエッジ、ノッチ加工を施すことが可能であり、異形加工も可能であり、Ａメサ、Ｂメサともに異なる種類のワークを同時(shí)に加工することが可能である。