可拋光8”以及12”晶圓的外周。本設(shè)備拋光鼓安裝風(fēng)葉和杠桿機構(gòu)，當(dāng)拋光鼓旋轉(zhuǎn)時，風(fēng)的阻力作用在風(fēng)葉上，帶動杠桿產(chǎn)生擺動，從而貼在杠桿上的拋光布壓向硅片的力大小產(chǎn)生變化，因此通過控制拋光鼓的旋轉(zhuǎn)方向以及轉(zhuǎn)速可以控制拋光力的大小?？梢赃m應(yīng)各種邊緣拋光形狀，改良了機械手運作方式，將傳統(tǒng)的直線行走方式改良成旋轉(zhuǎn)運動方式，多個機械手同時旋轉(zhuǎn)動作將多個晶圓依次搬運到下一個工位。簡化了機械手移動結(jié)構(gòu)，動作更簡單，使用更可靠。改良VN拋光方式，現(xiàn)有方式是晶圓水平放置VN拋，改良后將晶圓豎直放置VN拋，更有利于拋光液充分填滿拋光位置，而其它晶圓表面不易積液，并有SECS通信及數(shù)據(jù)輸出功能。